拡散ポンプオイルを交換した直後は目標真空度に到達していても、連続運転後に性能が低下する場合、原因はポンプだけとは限りません。

オイルの黄変、粘度上昇、ノズルへの付着物、オイルの逆流などは、オイルの熱劣化や不適切な選定を示している可能性があります。

粘度も重要ですが、より重要なパラメータは、蒸気圧、熱安定性、分子構造の3つです。

拡散ポンプオイルの動作原理

オイルはポンプ底部で約200～300℃まで加熱されます。発生した蒸気は高速ジェットとしてノズルから噴射され、気体分子を前段真空ポンプ側へ移動させます。

その後、オイル蒸気は冷却されたポンプ内壁で凝縮し、ボイラーへ戻ります。この加熱、蒸発、噴射、凝縮、還流のサイクルを繰り返します。

到達真空度は、オイルだけでなく、ポンプの設計、前段ポンプ、冷却、コールドトラップ、気密性、システムの清浄度によって決まります。

3つの重要パラメータ

1. 蒸気圧

蒸気圧はオイル蒸気のバックグラウンドに影響し、到達可能な真空度を左右します。一般的に、蒸気圧が低いほど高い真空度を得やすくなります。

次の項目を確認してください。

• 25℃における蒸気圧

• 実測値または外挿値

• コールドトラップあり／なしの到達真空度

• 試験方法と単位

TorrとPaは、そのまま比較できません。

1 Torr ≈ 133.322 Pa

到達真空度はシステム全体の結果ですが、蒸気圧はオイル自体の物性です。

2. 熱安定性

長時間の加熱によって軽質成分が生成されると、蒸気圧が上昇する可能性があります。一方、重質の劣化生成物は、黄変、粘度上昇、ノズルへの付着物の原因になります。

引火点は安全性に関する指標ですが、それだけで熱安定性を判断することはできません。

次のデータも確認する必要があります。

• TGAによる熱重量分析

• 高温条件での質量減少率

• 加熱前後の粘度変化

• 酸価の変化

• 油泥や付着物

• 長期連続運転試験の結果

3. 分子量と分子構造

一般的に、分子量が大きく、フェニル基が多いほど分子間力が強くなり、蒸気圧は低下します。

ただし、分子量の増加に伴って粘度も高くなるため、起動時間が長くなり、必要な加熱エネルギーも増える可能性があります。

704タイプと705タイプの選び方

704タイプは、真空蒸着、真空冶金、ランプ製造など、一般的な高真空用途に適しています。

705タイプは、より低い蒸気圧が必要な電子顕微鏡、質量分析計、その他の高真空装置に適しています。

ただし、プロセスが必要としていない場合に、必ずしも705タイプを選ぶ必要はありません。705タイプは粘度が高いため、起動時間が長くなり、加熱時のエネルギー消費が増える場合があります。

IOTA 704とIOTA 705は、対応するDC 704/705タイプと比較可能な主要仕様を備えています。

ただし、CAS番号が同じでも、最終製品の品質が必ず同じになるわけではありません。次の項目も確認する必要があります。

• 純度

• 水分

• 軽質成分

• 酸価

• 容器の清浄度

• ロット間の安定性

重要な設備で使用する場合は、TDSと各ロットのCOAを確認したうえで、実機試験を行ってください。

試験では、排気時間、到達真空度、オイルの逆流、色、粘度、付着物の発生を比較することが重要です。

完全な技術資料やサンプルについては、**www.siliconeoil.net**をご覧いただくか、**Iota Silicone Oil Anhui Co., Ltd.**までお問い合わせください。